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Intel没有EUV我们也懂得如何用7nm製造晶片

导读 今年的旧金山IDF会议上,Intel谈论最多的是Broadwell和Skylake处理器,这两代都是14nm製程的,再往后就是10nm以及7nm了,这两种製程还在研

今年的旧金山IDF会议上,Intel谈论最多的是Broadwell和Skylake处理器,这两代都是14nm製程的,再往后就是10nm以及7nm了,这两种製程还在研究、探索中,他们需要更高级的製造设备,EUV(极紫外光光刻设备)就是关键之一,不过EUV现在还不成熟,Intel表示就算没有EUV设备,他们也懂得如何用10nm、7nm製造未来的晶片。

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2014-9-1220:17上传


Intel理事MarkBohr在回答製程相关的问题时表示,他的日常工作​​之一就是研究在没有EUV光刻的情况下如何製造7nm晶片。对于EUV光刻这种核心设备,乐观的看法也是10年内也不一定能升级,Intel在10nm节点不会使用EUV製程,7nm节点也不一定会,不过这时候还是有点希望的。Bohr表示他对EUV很感兴趣,它可以帮助厂商提高产能,而且可能简化製程,不幸的是EUV还没有準备好,生产能力及可靠性都没有达标。
至于如何在没有EUV的情况下製造10nm及7nm晶片,Intel就没有透露太多了,不过在14nm上,Intel已经使用了三重曝光(triplepatterning)了。

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