张红林

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氟化氮有毒吗

【氟化氮有毒吗】氟化氮(NF₃)是一种无色、无味的气体,常用于半导体制造和等离子体刻蚀工艺中。尽管它在工业上有重要用途,但其毒性问题 浏览全文>>