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氟化氮有毒吗
氟化氮有毒吗
【
氟化氮有毒吗
】氟化氮（NF₃）是一种无色、无味的气体，常用于半导体制造和等离子体刻蚀工艺中。尽管它在工业上有重要用途，但其毒性问题
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